ЗАО «Зеленоградский нанотехнологический центр»

ЗАО «Зеленоградский нанотехнологический центр» представляет собой современный мультитехнологический комплекс производства и испытаний с набором технологий КМОП, МЭМС и ориентируется на комплексный подход к решению задач  заказчика, в том числе изготовление изделий для НИОКР и опытных партий.

ЗАО «ЗНТЦ» основано в 2010г. корпорацией РОСНАНО, МИЭТ и Зеленоградским инновационно-технологическим центром для решения задач генерации и поддержки новых бизнесов в области нано- и микроэлектроники. Располагается в Зеленограде на площадке «МИЭТ» Особой экономической зоны «Зеленоград».

Зеленоградский нанотехнологический центр сегодня   - это производственная линейка класса 100/10, оснащенная современным  технологическим оборудованием ведущих мировых производителей, в которой совмещены возможности изготовления на пластинах интегральных схем и  изделий микросистемной техники. и инновационный центр, включающий группы высококвалифицированных технических специалистов по разработке датчиков и сенсоров химических и биологических величин, акселерометров и гироскопов, разработке систем и блоков управления, дизайн-центр.

 

Успехи инноваторов
 

Глеб Демин

Компания «Спинэкст» и ее генеральный директор Глеб Демин занимается разработками технологий в сфере спинтроники и наномагнетизма. Это следующий этап развития современной, известной нам электроники, при котором используются магнитные свойства электрона

 

 

Алексей Модянов

Медицина и электроника вместе могут сделать гораздо больше в лечении онкологических заболеваний — такова идея команды разработчиков-выпускников МИЭТа во главе с Алексеем Модяновым. 

 

 

 

Андрей Юсупов

Всего за год генеральный директор компании Picaso 3D Андрей Исупов превратил свое студенческое хобби в успешный высокотехнологичный бизнес.

 

 

 

Исследования и разработки

Основные специализации ЗАО «ЗНТЦ» в области проведения НИОКР : проектирование СБИС по технологии «система на кристалле»; сенсоры физических, биологических и химических величин; интеллектуальные электронные энергосберегающие системы, приборы и оборудование; интеллектуальные системы навигации и управления для транспорта, авиационной и ракетно-космической техники, спецприменений; медицинские системы и диагностические комплексы на основе сенсоров. оказание услуг по исследованию биологических объектов и разработке изделий медицинского назначения.

 

Производство кристаллов

В Особой Экономической Зоне "Зеленоград", на базе Зеленоградского нанотехнологического центра (ЗНТЦ), 26-го ноября, при поддержке Роснано, Ростеха и Росэлектроники, была запущена новая линия по производству микропроцессорной техники.

Технологические возможности: проекционная фотолитография  с минимальными размерами 0.5 – 0.35 мкм.; контактная фотолитография на пластинах Ø150 мм с возможностью двухстороннего совмещения и субмикронным разрешением при работе в режиме контакта; спреевая химическая обработка и обработка в объёме раствора полупроводников, диэлектриков и металлов; имплантация стандартных ионов в диапазоне энергий от 20 до 200 кэВ с возможностью имплантации двухзарядных ионов.. CVD и PECVD процессы нанесения плёнок SiO2, Si3N4, poly-Si.; атомно-слоевое осаждение диэлектрических и проводящих покрытий, быстрый отжиг для электрической активации имплантированной примеси и формирования силицида на поверхности активных Si- структур и ПКК; плазмохимические безуходное травление полупроводников, диэлектриков и металлов глубокого травления Si со скоростью до 15 мкм/мин.; Газофазное травление полупроводников и диэлектриков для удаления жертвенных слоёв в маршруте изготовления МЭМС; ионное травление металлических и неметаллических пленок.

 

Продукция и услуги

Разработка и изготовление систем обработки информации, датчиков системы учета потребления и регулирования энергоресурсов на основе МЭМС-сенсоров, систем   навигации и управления. Сборка кристаллов микросхем и датчиков в корпуса, создание сложных вертикально интегрированных систем (3D  TSV).Контроль и измерение электрических и функциональных параметров. Оказание услуг по исследованию нанообъектов и наноструктур, анализу биополимеров, измерению спектральных характеристик биологических объектов.

 

ПЕРВАЯ В РОССИИ БИС ОДНОКРИСТАЛЬНОГО МАГНИТНОГО ЭНКОДЕРА

Дизайн-центр «Зеленоградского нанотехнологического центра» представил свои новейшие разработки - БИС однокристального магнитного энкодера положения - ENC_ASIC2 и интегральную микросхему преобразователя фазы квадратурного сигнала в код положения (БИС датчика угла) К1382HX045. 

Предоставление финансовых ресурсов для обеспечения стартового этапа развития бизнеса, высокотехнологичного оборудования для проведения исследований, изготовления опытного образца, начала мелкосерийного производства. Привлечение индустриальных и международных партнеров.

 

Инфраструктура

Создана современная инфраструктура, обеспечивающая  полный цикл проектирования СБИС, полный цикл кристального производства микроэлектроники, нано- и микро-системной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле), линия сборки и тестирования функциональных и электрических параметров изделий микроэлектроники.

Испытательный центр ЗАО «ЗНТЦ» аккредитован на соответствие требованиям ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 и РД В 319.006-97 на право проведения сертификационных испытаний электронной компонентной базы отечественного и иностранного производства в аккредитованной области.

Для реализации проектов в области биотехнологий и медицины созданы современные лаборатории (биологическая, химическая и аналитическая). В лабораториях создана специальная инфраструктура для работы с биологическими объектами и средами, производства изделий медицинского назначения.

Кристальное производство обеспечивает мультитехнологические процессы производства КМОП интегральных микросхем с проектной нормой до 0.5 мкм (с переходом, в ближайшей перспективе, на проектную норму 0.35 мкм) на объёмном кремнии и КНИ - структурах, магниторезистивных датчиков магнитного поля, МЭМС и НЭМС датчиков акселерометров и гироскопов на кремниевых пластинах диаметром 150 мм с производительностью до 600 пластин в месяц.

 

Адрес:    124498, Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5, стр. 23
Телефон:     +7 (499) 720 69 44,  +7 (499) 720 69 69
E-mail: info@zntc.ru
Web-сайт: zntc.ru

Руководитель:  Ковалев Анатолий Андреевич